在青島西海岸半導體產(chǎn)業(yè)園，丹佳團隊打造的Class 1級潔凈車間正刷新行業(yè)標準。車間采用層流天花板與多孔地板形成的垂直單向流，風速穩(wěn)定在0.45±0.05m/s區(qū)間，0.1μm微粒濃度控制在1個/m³以內(nèi)。獨創(chuàng)的V型導流墻設計使氣流均勻度達到95%，徹底消除傳統(tǒng)潔凈室常見的渦流死角。
更核心的技術突破在于智能粒子監(jiān)控系統(tǒng)：128個激光粒子傳感器構建的監(jiān)測網(wǎng)絡，每30秒完成全車間掃描，與FFU風機過濾單元聯(lián)動調節(jié)，潔凈度波動范圍壓縮至±3%。某晶圓廠項目數(shù)據(jù)顯示，該車間在黃海潮濕季仍將相對濕度穩(wěn)定在35%±2%，靜電消除效率提升40%，產(chǎn)品良率提高2.3個百分點。
